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Optical system design of an atmospheric detector with nadir view and omnidirectional limb view 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Wang, X. H. and Q. S. Xue
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Correcting groove error in gratings ruled on a 500-mm ruling engine using interferometric control 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 21
作者:  Mi, X. T.;  H. L. Yu;  H. Z. Yu;  S. W. Zhang;  X. T. Li;  X. F. Yao;  X. D. Qi;  Bayinhedhig and Q. H. Wan
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Extended shift-rotation method for absolute interferometric testing of a spherical surface with pixel-level spatial resolution 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 16
作者:  Liu, Y.;  L. Miao;  W. L. Zhang;  C. S. Jin and H. T. Zhang
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Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 14
作者:  Wang, W.;  Y. Song;  S. Jiang;  M. Z. Pan and Bayanheshing
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Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
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Small-size, high-resolution angular displacement measurement technology based on an imaging detector 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 3
作者:  Yu, H.;  Q. H. Wan;  X. R. Lu;  Y. C. Du and S. W. Yang
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