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剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者:  于长淞;  代雷
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相移干涉  精密相移系统  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  闭环控制  
尺蠖式压电陶瓷驱动电源设计 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 8, 页码: 49-52
作者:  郑楠;  王学亮;  李佩玥
caj(652Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:354/114  |  提交时间:2015/04/17
压电陶瓷驱动器  尺蠖运动  驱动电源  微位移