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高精度相位型计算全息图的设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 182-188
作者:  朱德燕;  张学军
caj(3292Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：288/101  |  提交时间：2016/07/06
全息  计算全息图  高精度  自由曲面  误差分析  光学检测  
正弦振动下动态调制传递函数分析与研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 127-134
作者:  杜言鲁;  丁亚林;  许永森;  聂品
caj(3886Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/64  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  调制传递函数  正弦振动  像质评价  
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：301/67  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度  
绝对式光栅尺细分误差补偿方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 220-225
作者:  乔栋;  续志军;  吴宏圣;  曾琪峰;  刘阳;  孙强
caj(1240Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：277/127  |  提交时间：2016/07/06
测量  细分误差  傅里叶分析  绝对式光栅尺  叠栅条纹