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基于有限元法的面形反演模型 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 8, 页码: 73-78
作者:  刘永明;  谢军;  田伟;  隋永新;  刘震宇
caj(408Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/88  |  提交时间：2015/04/17
绝对检测  旋转平均法  反演模型  干涉检测  Zernike多项式  
光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117
作者:  彭海峰;  孙振
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/120  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性