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扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：320/121  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差  
非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229
作者:  何天博;  巴音贺希格;  张善文;  李文昊;  唐玉国
caj(658Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/114  |  提交时间：2015/04/17
光栅  体全息光栅  衍射特性  混合调制  衰减光栅  
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
Adobe PDF(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：475/135  |  提交时间：2012/05/11
点衍射干涉仪基准波前测试技术研究 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 0508003-1-6
作者:  马冬梅
Adobe PDF(462Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：720/273  |  提交时间：2012/05/11