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全固态289.9 nm紫外激光器的研究 期刊论文
中国激光, 2022, 卷号: 49, 期号: 07, 页码: 7-12
作者:  王金艳;  李世杰;  刘天红;  郑权;  陈曦;  陈磊;  王东贺
Adobe PDF(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：168/69  |  提交时间：2023/05/18
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：254/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
深紫外氧化物薄膜的光学特性 期刊论文
中国激光, 2011
作者:  金春水;  李春;  邓文渊;  匡尚奇
Adobe PDF(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：603/139  |  提交时间：2012/05/11