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离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:401/157  |  提交时间:2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
高精度非回转对称非球面加工方法研究 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 364-370
作者:  徐乐;  张春雷;  代雷;  张健
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:319/132  |  提交时间:2017/09/17
非回转对称  非球面  气囊抛光  Irp抛光