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高精度非回转对称非球面加工方法研究
徐乐; 张春雷; 代雷; 张健
2016-06-15
发表期刊中国光学
期号3页码:364-370
摘要本文提出一种高精度非回转对称非球面加工方法。首先,通过范成法铣磨出非回转对称非球面的最佳拟合球;然后,利用古典抛光修正小磨头确定抛光难以修正的中频误差;最后,利用高精度气囊抛光设备(IRP)精确对位精修面形,在不引入额外中频误差条件下,通过高精度对位检测技术实现非回转对称非球面高精度加工。将该方法应用于定点曲率半径为970.737 mm、k=-1、口径为106 mm三次非球面加工,降低了加工难度,提高了加工精度,面形误差收敛到1/30λ(RMS)。实验结果验证了本文加工方法的正确性和可行性,对高精度非回转对称非球面加工具有一定的指导意义。
关键词非回转对称 非球面 气囊抛光 Irp抛光
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57504
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
徐乐,张春雷,代雷,等. 高精度非回转对称非球面加工方法研究[J]. 中国光学,2016(3):364-370.
APA 徐乐,张春雷,代雷,&张健.(2016).高精度非回转对称非球面加工方法研究.中国光学(3),364-370.
MLA 徐乐,et al."高精度非回转对称非球面加工方法研究".中国光学 .3(2016):364-370.
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