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Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者:  Yu, B.;  C. Li;  C. Jin and C. Wang
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Measurement of thickness uniformity of optic multilayer based on surface figure measurement 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 7
作者:  Wang, H.;  F. Zhou;  B. Yu;  Y. Xie;  J. Yu;  Y. Liu and L. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/96  |  提交时间：2016/08/24
Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者:  Wang, X.;  C. Jin;  C. Li and S. Kuang
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基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
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Mo_Si多层膜在质子辐照下反射率的变化 期刊论文
物理学报, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良
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小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
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13_9和19_6nm正入射Mo_Si多层膜反射镜的反射率测量 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
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极紫外单色仪波长定标 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
caj(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：336/63  |  提交时间：2012/09/25