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High-accuracy measurement of the focal length and distortion of optical systems based on interferometry 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 18, 页码: 5217-5223
作者:  Yang, G. Q.;  Miao, L.;  Zhang, X.;  Sun, C.;  Qiao, Y. F.
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talbot interferometry  Optics  
Refined grating fabrication using Displacement Talbot Lithography 期刊论文
Microelectronic Engineering, 2018, 卷号: 189, 页码: 74-77
作者:  Chen, H.;  Qin, L.;  Chen, Y. Y.;  Jia, P.;  Gao, F.;  Chen, C.;  Liang, L.;  Zhang, X.;  Lou, H. W.;  Ning, Y. Q.;  Wang, L. J.
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Refined grating fabrication  Displacement Talbot Lithography  Phase  shift mask  Photolighography  interferometric lithography  grids  Engineering  Science & Technology - Other Topics  Optics  Physics