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Broadband phase shift engineering for terahertz waves based on dielectric metasurface 期刊论文
Optics Communications, 2019, 卷号: 434, 页码: 12-18
作者:  Q.Y.Mu;  H.Z.Lin;  F.Fan;  J.R.Cheng;  X.H.Wang;  S.J.Chang
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Terahertz,Subwavelength structure,Metasurface,Dispersion control,Waveplate,polarization conversion,birefringence,metamaterials,resonances,mode,Optics  
Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system 期刊论文
Optics Communications, 2019, 卷号: 434, 页码: 1-6
作者:  Q.K.Li;  Y.Xiao;  H.Liu;  H.L.Zhang;  J.Xu;  J.H.Li
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Microlithography,Lithography,Digital image processing,maskless lithography,fabrication,Optics  
A beam homogenizer for digital micromirror device lithography system based on random freeform microlenses 期刊论文
Optics Communications, 2019, 卷号: 443, 页码: 211-215
作者:  Z.Y.Liu;  H.Liu;  Z.F.Lu;  Q.K.Li;  J.H.Li
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Homogenizer,Microlens array,Freeform surface,DMD lithography system,laser,optics