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A beam homogenizer for digital micromirror device lithography system based on random freeform microlenses 期刊论文
Optics Communications, 2019, 卷号: 443, 页码: 211-215
作者:  Z.Y.Liu;  H.Liu;  Z.F.Lu;  Q.K.Li;  J.H.Li
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Homogenizer,Microlens array,Freeform surface,DMD lithography system,laser,optics  
基于非成像光学的激光整形器件优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  刘丽红
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光学设计  光束整形  非成像光学  微透镜阵列