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基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
caj(621Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/172  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 07, 页码: 39-43
作者:  华洋洋;  巩岩
caj(886Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/125  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  光刻投影物镜  支撑结构  结构优化  有限元