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极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：537/166  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 02, 页码: 308-313
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：435/105  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  同步辐射  谱学显微  单色器  机械结构  重复精度  
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 12, 页码: 306-312
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(977Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：660/125  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  功率密度分布  热平衡  面形误差  有限元分析