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激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者:  赵灵;  武潇野;  谷勇强;  时光;  梅林;  才玺坤;  张立超
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/129  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数  
计算全息法标定抛物面精度分析 期刊论文
中国激光, 2011, 页码: 1208005
作者:  谷勇强;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1550Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/121  |  提交时间：2012/05/11
用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 37, 期号: 8, 页码: 2029-2034
作者:  苗二龙;  谷永强;  康玉思;  刘伟奇
caj(268Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：323/65  |  提交时间：2012/09/25