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Deposition, Characterization, and Modeling of Scandium-Doped Aluminum Nitride Thin Film for Piezoelectric Devices 期刊论文
Materials, 2021, 卷号: 14, 期号: 21, 页码: 11
作者:  Q. Z. Zhang;  M. Z. Chen;  H. L. Liu;  X. Y. Zhao;  X. M. Qin;  F. F. Wang;  Y. X. Tang;  K. H. Yeoh;  K. H. Chew and X. J. Sun
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