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扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  潘明忠;  李文昊;  宋莹
caj(3588Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：217/88  |  提交时间：2016/07/06
光栅  扫描干涉场曝光系统  干涉条纹周期测量  相位锁定  
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/94  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 318-324
作者:  宋莹;  巴音贺希格;  齐向东;  张宁;  唐玉国
caj(695Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/114  |  提交时间：2015/04/17
全息光栅  曝光  莫尔条纹  相位锁定  声光调制器