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基于多光束干涉的长程轮廓仪 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 259-265
作者:  李晶;  巩岩;  廖家胜;  张巍
caj(530Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/103  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束器  多光束干涉  
多功能干涉测量装置及其应用 期刊论文
光学仪器, 1988, 期号: 03, 页码: 38-47
作者:  周长新
caj(449Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/54  |  提交时间：2013/03/11
干涉条纹:4398  表面粗糙度:4072  测量装置:3468  扫描干涉仪:3373  干涉装置:2877  薄膜厚度:2849  多光束干涉仪:2591  精细结构:2444  条纹宽度:2432  测量精度:2377