CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
多功能干涉测量装置及其应用
周长新
1988-06-29
发表期刊光学仪器
期号03页码:38-47
关键词干涉条纹:4398 表面粗糙度:4072 测量装置:3468 扫描干涉仪:3373 干涉装置:2877 薄膜厚度:2849 多光束干涉仪:2591 精细结构:2444 条纹宽度:2432 测量精度:2377
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30830
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
周长新. 多功能干涉测量装置及其应用[J]. 光学仪器,1988(03):38-47.
APA 周长新.(1988).多功能干涉测量装置及其应用.光学仪器(03),38-47.
MLA 周长新."多功能干涉测量装置及其应用".光学仪器 .03(1988):38-47.
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