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控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-10-27, 公开日期: 2010-10-27
发明人:  梁静秋;  王波;  梁中翥;  徐大伟
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一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-10-27, 公开日期: 2010-10-27
发明人:  梁静秋;  梁中翥;  禹秉熙
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微光机电系统波长信道选择器制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-08-04, 公开日期: 2010-08-04
发明人:  梁静秋;  李小奇;  梁中翥;  孙德贵;  陈斌
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一种微型傅里叶变换光谱仪的制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-08-04, 公开日期: 2010-08-04
发明人:  梁静秋;  孔延梅;  梁中翥;  禹秉熙
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双膜交替腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-06-02, 公开日期: 2010-06-02
发明人:  梁中翥;  梁静秋
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