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| 控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-10-27, 公开日期: 2010-10-27 发明人: 梁静秋; 王波; 梁中翥; 徐大伟 Adobe PDF(486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:333/46  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-10-27, 公开日期: 2010-10-27 发明人: 梁静秋; 梁中翥; 禹秉熙 Adobe PDF(238Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:476/72  |  提交时间:2012/08/29 |
| 微光机电系统波长信道选择器制作方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-08-04, 公开日期: 2010-08-04 发明人: 梁静秋; 李小奇; 梁中翥; 孙德贵; 陈斌 Adobe PDF(879Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:504/80  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种微型傅里叶变换光谱仪的制作方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-08-04, 公开日期: 2010-08-04 发明人: 梁静秋; 孔延梅; 梁中翥; 禹秉熙 Adobe PDF(671Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:480/69  |  提交时间:2012/08/29 |
| 双膜交替腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2010-06-02, 公开日期: 2010-06-02 发明人: 梁中翥; 梁静秋 Adobe PDF(501Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:353/35  |  提交时间:2012/08/29 |