中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 (发明)
	梁静秋; 王波; 梁中翥; 徐大伟
	2010-10-27
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2010-10-27
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法，该方法包括下列步骤：制作基片并进行清洗处理；用第一块光刻版光刻形成所需掩蔽图形，第一块光刻版明条纹和暗条纹的宽度各为Ｌ／２↑［１］；然后沉积镀膜材料，剥离光刻胶及其上的薄膜，形成多级膜层台阶；按上述方法依次制作各膜层台阶，第ｎ块光刻版明条纹和暗条纹的宽度各为Ｌ／２↑［……
资助项目	101290363B
申请号	200810050789.6
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11209
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,王波,梁中翥,等. 控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 (发明)[P]. 2010-10-27.

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CN200810129036300000（486KB）			开放获取	--	浏览 下载

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