Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明) | |
梁静秋 ; 梁中翥; 禹秉熙
| |
| 2010-10-27 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2010-10-27 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：选择上表面与（１１１）面偏一定角度的硅片作为多级微反射镜材料，并对其上表面进行抛光；在硅片表面生长一层掩蔽材料；在硅片上表面形成条状掩蔽薄膜图形；对未被掩蔽薄膜覆盖的表面进行各项异性腐蚀得到阶梯状结构；在阶梯状结构的表面镀增反膜，得到多级微反射镜。本发明由于…… |
| 资助项目 | 101290362B |
| 申请号 | 200810050786.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11208 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,梁中翥,禹秉熙. 一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明)[P]. 2010-10-27. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200810129036200000（238KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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