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极紫外多层膜光栅技术研究进展 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8
作者:  张立超
Adobe PDF(496Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：468/173  |  提交时间：2012/05/11
多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 16-20
作者:  张立超
Adobe PDF(1061Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：404/114  |  提交时间：2012/05/11
晶振膜厚监控技术中ToolingFactor的精确标定 期刊论文
光机电信息, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 56-60
作者:  张立超
Unknown(396Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：501/174  |  提交时间：2012/09/25
纳米级薄膜厚度的精确测量 期刊论文
光机电信息, 2010, 卷号: 27, 期号: 10, 页码: 45-49
作者:  张立超
Unknown(472Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/121  |  提交时间：2012/09/25