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采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 期刊论文
红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:  孟祥翔;  刘伟奇;  魏忠伦;  柳华;  康玉思;  冯睿;  张大亮
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：452/111  |  提交时间：2015/04/17
无掩模光刻  照明系统  激光光束整形  矩形平顶光束  自由曲面  
新型全柔性动镜机构的设计与分析 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 01, 页码: 184-189
作者:  柳华;  刘伟奇;  冯睿;  魏忠伦;  张健
caj(723Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：518/140  |  提交时间：2013/03/11
红外傅里叶变换光谱仪  动镜支撑机构  耦合位移  柔性铰链  有限元分析