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光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 02, 页码: 71-75
作者:  彭海峰;  巩岩;  赵磊
caj(1322Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/85  |  提交时间：2014/03/07
光刻投影物镜  多弹片支撑结构  自重变形  面形分析