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一种环形磁控溅射装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210375207.8, 申请日期: 2014-07-09, 公开日期: 2014-07-09
发明人:  刘星元;  林杰;  李会斌
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一种振动抛光磨头 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110452745.8, 申请日期: 2014-06-18, 公开日期: 2014-06-18
发明人:  王君林;  王绍治;  刘健;  马占龙;  张玲花
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一种十字铰接式磨头 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110452733.5, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  王君林;  刘健;  王绍治;  马占龙;  张玲花
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一种角度自适应抛光磨头 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110452754.7, 申请日期: 2014-01-15, 公开日期: 2014-01-15
发明人:  王君林;  王绍治;  刘健;  马占龙;  张玲花
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