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采样点分布对基于面形斜率径向基模型的自由曲面拟合精度的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1564-1572
作者:  武鹏飞;  张赞;  郑义;  张娟;  王尧尧;  赵星;  王灵杰;  伍雁雄
caj(540Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/108  |  提交时间：2017/09/17
光学设计  自由曲面  拟合精度  采样点分布  
基于面形斜率的光学自由曲面表征 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1957-1964
作者:  赵星;  郑义;  张赞;  张娟;  王灵杰;  伍雁雄
caj(398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/128  |  提交时间：2016/07/06
光学自由曲面  面形拟合  面形斜率  高斯径向基  Zernike多项式  
绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/117  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅