中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文 Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663 作者: Zhao, L.; Dong, L. J.; Yu, X. F.; Li, P. Z.; Qiao, Y. F. 浏览 \| Adobe PDF(2985Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：325/108 \| 提交时间：2019/09/17 adaptive optics deformable mirror performance simulation systems design Optics
	预紧式Stewart结构六维力/力矩传感器期刊论文光学精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2954-2962 作者: 赵磊; 巩岩 Adobe PDF(1465Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：455/94 \| 提交时间：2012/05/11

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