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高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2143-2148
作者:  徐明飞;  黄玮
caj(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：210/62  |  提交时间：2016/07/06
投影物镜  光刻物镜  波像差  光学设计  自动优化