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精磨光学元件面形的干涉检测技术研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2015, 期号: 04, 页码: 558-562
作者:  代雷;  吴迪;  张健;  张春雷;  于长淞;  谷勇强
caj(418Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：252/96  |  提交时间：2016/07/06
精磨检测  光学元件  干涉检测