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低压化学气相淀积系统用可防止返油的水汽隔离油过滤器 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-07-21, 公开日期: 2004-07-21
发明人:  宋航;  周天明;  蒋红;  金亿鑫;  张宝林;  缪国庆
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气体微水监测方法及装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-06-30, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  周天明;  蒋红;  缪国庆;  宋航;  金亿鑫
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半导体材料外延的废气中所含砷微粒的回收设备 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-04-07, 公开日期: 2004-04-07
发明人:  宋航;  周天明;  张宝林;  蒋红;  金亿鑫;  缪国庆
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