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光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 6, 页码: 68-77
作者:  赵旭龙;  巴音贺希格;  李文昊;  姜岩秀;  杨硕
caj(409Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/167  |  提交时间：2017/09/17
光栅  消像差凹面全息  一体化设计  光栅设计  球面聚焦反射镜  光程函数  
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 5, 页码: 22-31
作者:  卢禹先;  齐向东;  糜小涛;  姜珊;  于海利;  李晓天;  尹禄
caj(395Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/119  |  提交时间：2017/09/17
衍射  光栅拼接  干涉仪  衍射波前  拼接误差  
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/98  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差