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Key technology progress of optomechanical systems in 193 nm projection objective 期刊论文
Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica, 2017, 卷号: 47, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  D. Rui;  P. Li;  L. Dong and J. Zhang
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New Measuring Method of Diffraction Efficiency for Concave Grating Based on Fourier Optics Principle 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2017, 卷号: 37, 期号: 4
作者:  Ma, Z. Y.;  X. D. Qi;  X. T. Li;  Bayanheshig;  X. F. Yao;  Jirigalantu;  S. W. Zhang and H. L. Yu
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