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极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
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成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
基于修正简化模式法的熔融石英光栅分束器设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 7, 页码: 231-237
作者:  王斌;  郝鹏;  吴一辉;  李胤
caj(341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：309/99  |  提交时间：2015/04/17
光栅  衍射理论  多层膜  相位差  分束器