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Optimization method using nodal aberration theory for coaxial imaging systems with radial basis functions based on surface slope 期刊论文
Applied Optics, 2021, 卷号: 60, 期号: 9
作者:  S. Zhang;  L. Xiao;  X. Zhao;  L. Song;  Y. Liu;  L. Wang;  G. Shi and W. Liu
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Method for exposure dose monitoring and control in scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2021, 卷号: 60, 期号: 10, 页码: 2767-2774
作者:  Y. Song;  Y. Liu;  S. Jiang;  Y. Zhu;  L. Zhang and Z. Liu
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