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Analysis and reduction of the TDI CCD charge transfer image shift 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 33
作者:  Li, Y. H.;  X. D. Wang;  W. G. Liu and Z. Wang
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Correcting groove error in gratings ruled on a 500-mm ruling engine using interferometric control 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 21
作者:  Mi, X. T.;  H. L. Yu;  H. Z. Yu;  S. W. Zhang;  X. T. Li;  X. F. Yao;  X. D. Qi;  Bayinhedhig and Q. H. Wan
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High-precision identification of a tip-tilt control system for the compensation of time delay 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 5
作者:  Wang, Y. K.;  Z. L. Cao;  L. F. Hu;  X. Y. Zhang;  D. Y. Li;  H. Y. Xu;  S. X. Wang;  Q. Q. Mu and L. Xuan
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Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
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