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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
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氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
莫尔条纹光电信号自动补偿系统 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 2, 页码: 180-185
作者:  高旭;  万秋华;  卢新然;  杜颖财;  陈伟
caj(980Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/106  |  提交时间：2017/09/17
高精度光电编码器  莫尔条纹光电信号  细分误差  自动  补偿系统