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Effect of measured interference fringe period error on groove profile of grating masks in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 4
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Song Y.;  Pan M.;  Li W.
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Effects of ultrasonic vibration and wettability enhancement on surface roughness on blaze plane of silicon echelon grating 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 3
作者:  Jiao Q.;  Bayanheshig;  Tan X.;  Li Y.;  Zhu J.;  Wu N.
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