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Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 31
作者:  Song, Y.;  W. Wang;  S. Jiang;  Bayanheshig and N. Zhang
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Analysis and reduction of the TDI CCD charge transfer image shift 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 33
作者:  Li, Y. H.;  X. D. Wang;  W. G. Liu and Z. Wang
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Positive dwell time algorithm with minimum equal extra material removal in deterministic optical surfacing technology 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 32
作者:  Li, L. X.;  D. L. Xue;  W. J. Deng;  X. Wang;  Y. Bai;  F. Zhang and X. J. Zhang
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Error analysis of large-diameter subaperture stitching Fresnel diffractive elements 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 27
作者:  Zhang, H. L.;  H. Liu;  W. B. Xu;  A. Lizana;  X. D. Wang and Z. W. Lu
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Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 14
作者:  Wang, W.;  Y. Song;  S. Jiang;  M. Z. Pan and Bayanheshing
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