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多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀 期刊论文
液晶与显示, 2002, 期号: 01, 页码: 59-64
作者:  王大海;  李轶华;  孙艳;  吴渊;  陈国军;  付国柱;  荆海;  万春明
caj(42Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：594/92  |  提交时间：2013/03/11
多晶硅薄膜晶体管  反应性离子刻蚀  刻蚀速率  选择比