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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
像场调制傅里叶变换成像光谱仪的建模与实验研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 18, 页码: 117-124
作者:  吕金光;  赵百轩;  梁静秋;  王维彪;  秦余欣;  陶金
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成像系统  光谱学  成像光谱仪  像场调制  干涉成像