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Optimization based on sensitivity for material birefringence in projection lens 期刊论文
Chinese Optics Letters, 2020, 卷号: 18, 期号: 6, 页码: 5
作者:  H. B. Shang,L. W. Zhang,C. L. Liu,P. Wang,Y. X. Sui and H. J. Yang
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Useful way to compensate for intrinsic birefringence caused by calcium fluoride in optical lithography systems 期刊论文
Chinese Optics Letters, 2018, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 5
作者:  Zhou, Z. L.;  Shang, H. B.;  Sui, Y. X.;  Yang, H. J.
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Optics