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A 2-DOF Piezoelectric Inchworm Actuator for Precise Positioning 期刊论文
Advances in Mechanical Engineering, 2014, 卷号: 8
作者:  Hua S. M.;  Liu G. S.;  Lou Y. H.;  Li Z. Q.;  Meng Y. M.
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Maskless lithography illumination system with double freeform surfaces for beam shaping 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2014, 卷号: 43, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:  Meng X.;  Liu W.;  Wei Z.;  Liu H.;  Kang Y.;  Feng R.;  Zhang D.
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：354/104  |  提交时间：2015/04/24