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Introducing voids around the interlayer of AlN by high temperature annealing 期刊论文
Chinese Physics B, 2022, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 6
作者:  J. W. Ben;  J. L. Luo;  Z. C. Lin;  X. J. Sun;  X. K. Liu and X. H. Li
浏览  |  Adobe PDF(1698Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：84/35  |  提交时间：2023/06/14