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光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/73  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
宽光谱棱镜型太阳光谱仪设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 02, 页码: 178-186
作者:  张浩;  方伟;  叶新;  张广伟
caj(1555Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/130  |  提交时间：2014/03/07
光谱学  棱镜光谱仪  光学设计与仿真  太阳光谱辐照度