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极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者:  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(104Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：433/83  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜  
X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究 期刊论文
光学学报, 1999, 期号: 07, 页码: 130-133
作者:  王占山;  马月英;  吕俊霞;  高宏刚;  刘毅楠;  裴舒;  曹健林;  徐向东;  洪义麟;  付绍军
caj(116Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/85  |  提交时间：2013/03/11
X射线布拉格－菲涅耳光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀  
软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 08, 页码: 1088-1093
作者:  张俊平;  曹健林;  马月英;  高宏刚;  陈斌;  吕俊霞;  裴舒;  陈星旦
caj(252Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/62  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  激光反射镜  膜系设计和模拟计算  
软X射线多层膜色散元件 期刊论文
光学学报, 1994, 期号: 11, 页码: 1204-1209
作者:  曹健林;  马月英;  张俊平;  高宏刚;  王占山;  裴舒;  陈星旦
caj(229Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/76  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜技术  色散元件