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碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
caj(173Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/117  |  提交时间：2018/04/09
薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率