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A general method of designing phase-shifting algorithms for grating lateral shearing interferometry 期刊论文
Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering, 2018, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 809-814
作者:  Fang, C.;  Xiang, Y.;  Qi, K. Q.
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Interferometry  Phase measurement  Phase-shifting algorithms  point-diffraction interferometer  wave-front reconstruction  hartmann-shack sensor  spatial-resolution  metrology  optics  euva  Computer Science  Engineering  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
Adobe PDF(403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：257/98  |  提交时间：2019/09/17
Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts