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绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/120  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅  
角度基准中莫尔条纹细分的研究 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 01, 页码: 109-112
作者:  张建华
caj(43Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/62  |  提交时间：2013/03/11
计量光栅  莫尔条纹细分  角度测量  
检测计量光栅均匀性误差的探讨 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 109-113
作者:  杨进堂
收藏  |  浏览/下载：301/0  |  提交时间：2013/03/11
计量光栅  均匀性误差  莫尔条纹对比度  
一种新型结构光栅测微传感器 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 87-90
作者:  倪学;  韩雪冰
caj(126Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/77  |  提交时间：2013/03/11
计量光栅技术  测微传感器  直线运动轴承导轨