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一种测量微小线位移的传感器 （实用新型） 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2238417, 申请日期: 1996-10-23, 公开日期: 1996-10-23
发明人:  倪学;  韩雪冰
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一种新型结构光栅测微传感器 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 87-90
作者:  倪学;  韩雪冰
caj(126Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/73  |  提交时间：2013/03/11
计量光栅技术  测微传感器  直线运动轴承导轨